仪器设备
半导体参数测试仪
仪器型号:
S530
生产厂家:
美国 吉时利
安放位置:
六号楼微电子工艺实验室
所属平台:
所属平台
联  系  人:
李海霞
联系方式:
15393112588

主要功能:

自动完成多路硅微条探测器中多条探测单元的I-V特性、C-V特性、击穿特性等参数测量,无需人工一点一点的测量。其主要任务是快速高效地甄别多路硅微条探测性能,从而优化工艺,提高探测器性能,更好的服务于核物理实验。 

服务内容:

1)可进行器件的常规电学性能测试:伏-安特性(I-V)、电容-电压(C-V)特性、反向电阻、击穿电压等。 

2)可对部分高压器件进行高压电学性能测试:最大电压1000V; 

3)可完成多至48路的硅条的C-V、I-V、脉冲扫描、击穿测试等参数的同时自动测量,电压200V以下,电流分辨在fA级别。

主要技术指标: 

1.小电流i-v : 超低漏电流(fA),最 大电压200V,最大电流1A; 

2.高电压I-V : 最大电压1000V; 

3.通用I-V : 适合于大多数参数测试; 

4.c-v单元: 能够在1MHz下测量10pF电 容,准确度达1%。