主要功能：

实现超纯水内粒子量的在线监测、工件内表面缺陷的检查评估和修复、电化学领域的分析和研究、材料的高温热处理功能。 服务内容：应用于超纯水内的粒子数的在线监测服务；提供腔室内表面缺陷检查评估和修复服务；提供各种材料的电化学性能研究平台，并提供材料的电抛光、电解和电沉积研究平台；提供气氛或真空条件下高温烧结服务。

主要技术指标： 

1.粒径测试范围：0.3μm-3μm，具备在线测量和数据导出能力。 

2.具备3D相位扫描测量技术，具备双物镜测量技术，具备实时观测修复状态的能力。 

3.电流范围1 nA-2 A，精度±0.2%；阻抗测试范围1 mΩ-1000 GΩ；交流振幅0.2-350 mV。

4.气氛条件下最高煅烧温度1800℃，真空条件下最高煅烧温度1400℃；升温速率：1000℃以下≤ 5℃/min， 1000℃以上≤3℃/min。